Пещта за бързо отгряване използва усъвършенствана система за микрокомпютърно управление и PID контрол на температурата в затворен контур, които могат да постигнат висока точност на контрол на температурата и еднородност на температурата и могат да бъдат оборудвани с вакуумна камера или многоканален газ според изискванията на потребителския процес.
Пещта за бързо отгряване използва халогенна инфрачервена лампа като източник на топлина за бързо нагряване на пластини или материали до 300 градуса -1200 градуса чрез по-бърза скорост на нагряване, като по този начин елиминира някои дефекти на пластини или материали и подобрява производителността на продукта.
Пещта за бързо отгряване (оборудване за топлинна обработка на чипове) се използва широко в производството на IC вафли, LED вафли, MEMS, съставни полупроводници, захранващи устройства и други чипове продукти, както и бързо легиране с омичен контакт, отгряване чрез йонна имплантация, растеж на оксид, стрес облекчение при уплътняване, уплътняване и други процеси. Бързата топлинна обработка се използва за подобряване на кристалната структура и фотоелектричните свойства, с висок технически индекс, сложен процес и силна специфичност.
Подмяна на хардуер на пещ за бързо отгряване
1, подмяна на нагревателната лампа: нагревателната лампа надвишава експлоатационния живот или не е ярка, трябва да бъде сменена. Срокът на експлоатация на нагревателната лампа е 3000 часа, като нейният експлоатационен живот ще бъде намален при високи температури.
2, смяна на маслото на вакуумната помпа: по време на употреба, моля, наблюдавайте манометъра за вакуумно масло веднъж на тримесечие. Когато индикаторът за масло показва, че нивото на маслото е по-малко от 1/3, моля, добавете маслото от вакуумната помпа до повече от половината от индикатора за масло.
3, подмяна на термодвойка: когато температурата е ненормална или повредена, термодвойката трябва да се смени. Нормалният експлоатационен живот на термодвойката е 3 месеца, като експлоатационният му живот се съкращава от фактори на околната среда.
4. Сменете О-пръстена: Когато повърхността на О-пръстена е очевидно повредена или не може да бъде запечатана, О-пръстенът трябва да бъде сменен. Неговият експлоатационен живот се влияе от външна сила и температурни фактори.